DRK8090 فوٽو اليڪٽرڪ پروفائلر

هي اوزار غير رابطي، اپٽيڪل مرحلو-شفٽنگ interferometric ماپ جو طريقو اختيار ڪري ٿو، ماپ دوران workpiece جي مٿاڇري کي نقصان نه پهچائيندو آهي، مختلف workpieces جي مٿاڇري جي مائيڪرو ٽوپوگرافي جي ٽي-dimensional گرافڪس کي جلدي ماپ ڪري سگهي ٿو، ۽ ماپ جو تجزيو ۽ حساب ڪري ٿو. نتيجا.

پيداوار جي وضاحت
خاصيتون: مختلف گيج بلاڪ ۽ آپٽيڪل حصن جي مٿاڇري جي خرابي کي ماپڻ لاء مناسب؛ حڪمران ۽ ڊائل جي reticle جي کوٽائي؛ grating groove جي ڍانچي جي ڪوٽنگ جي ٿلهي ۽ ڪوٽنگ جي چوديواري جي جوڙجڪ مورفولوجي؛ مقناطيسي (آپٽيڪل) ڊسڪ جي مٿاڇري ۽ مقناطيسي سر ساخت جي ماپ؛ silicon wafer مٿاڇري roughness ۽ نمونن جي جوڙجڪ جي ماپ، وغيره.
اوزار جي اعلي ماپ جي درستگي جي ڪري، ان ۾ غير رابطي ۽ ٽي-dimensional ماپ جا خاصيتون آهن، ۽ ڪمپيوٽر ڪنٽرول ۽ تيز رفتار تجزيو ۽ ماپ جي نتيجن جي حساب سان اپنائڻ. هي اوزار سڀني سطحن جي جاچ ۽ ماپ جي تحقيقاتي يونٽن، صنعتي ۽ مائننگ انٽرپرائز جي ماپ رومن، درست پروسيسنگ ورڪشاپ، ۽ پڻ اعلي سکيا ۽ سائنسي تحقيقي ادارن جي ادارن لاء مناسب آهي، وغيره.
مکيه ٽيڪنيڪل پيراگراف
سطح خوردبيني غير برابري جي کوٽائي جي ماپ جي حد
مسلسل مٿاڇري تي، جڏهن اوچائي اوچتو تبديلي نه هوندي آهي 1/4 موج جي ڊيگهه کان وڌيڪ ٻن ويجهن پکسلز جي وچ ۾: 1000-1nm
جڏهن ٻن ويجهن پکسلز جي وچ ۾ موج جي ڊيگهه جي 1/4 کان وڌيڪ اوچائي ميوٽيشن آهي: 130-1nm
ماپ جي ورجائي قابليت: δRa ≤0.5nm
مقصد لينس ميگنائيزيشن: 40X
عددي ايپرچر: Φ 65
ڪم ڪندڙ فاصلو: 0.5mm
اوزار جو ميدان بصري: Φ0.25mm
تصوير: 0.13 × 0.13mm
اوزار جي واڌاري بصري: 500×
فوٽوگرافي (ڪمپيوٽر اسڪرين پاران مشاهدو ڪيو ويو) - 2500 ×
وصول ڪندڙ جي ماپ جي صف: 1000X1000
پکسل سائيز: 5.2 × 5.2µm
ماپ وقت نموني (اسڪيننگ) وقت: 1S
اوزار معياري آئيني جي عڪاسي (وڏي): 50٪
موٽڻ (گهٽ): ～4٪
روشني جو ذريعو: تاپديدي چراغ 6V 5W
سائو مداخلت فلٽر موج جي ڊيگهه: λ≒530nm
اڌ ويڪر λ≒10nm
مکيه خوردبيني لفٽ: 110 ملي ميٽر
ٽيبل لفٽ: 5 ملي ايم
X ۽ Y طرفن ۾ حرڪت جي حد: 10 ملي ايم
ڪم جي ٽيبل جي گردش واري حد: 360 °
ڪم ڪندڙ ٽيبل جي جھڪندڙ حد: ±6°
ڪمپيوٽر سسٽم: P4، 2.8G يا وڌيڪ، 17 انچ فليٽ اسڪرين ڊسپلي 1G يا وڌيڪ ميموري سان